芯片净化车间等级划分标准 -凯发旗舰网站下载

　　一、等级划分与标准

　　1、iso 1级(class 1)：

　　适用于最高级别的芯片制造，如微处理器、存储器等。

　　要求空气中的微粒浓度不超过0.1个每立方米(0.1个/?)。

　　2、iso 2级(class 10)：

　　适用于高级别的芯片制造，如模拟器件、光电器件等。

　　要求空气中的微粒浓度不超过10个/?。

　　3、iso 3级(class 100)：

　　适用于一般的芯片制造，如数字器件、逻辑器件等。

　　要求空气中的微粒浓度不超过100个/?。

　　4、iso 4级(class 1000)：

　　适用于较低级别的芯片制造，如传感器、电容器等。

　　要求空气中的微粒浓度不超过1000个/?。

　　5、iso 5级(class 10000)：

　　适用于一些较为简单的芯片制造，如led、lcd等。

　　要求空气中的微粒浓度不超过10000个/?。

　　6、iso 6至iso 9级：

　　这些级别主要用于对洁净度要求不高的工业应用。

　　在这些环境中，虽然会采取一定的空气净化措施，但空气中的颗粒物浓度相对较高，不适合高精度芯片制造。

　　二、等级选择与应用

　　在芯片制造过程中，不同的工艺步骤对洁净度的要求不同。例如：

　　光刻、刻蚀、离子注入等关键步骤：这些步骤对洁净度的要求极高，任何微小的污染都可能导致芯片缺陷。因此，这些步骤通常在iso 4至iso 6级的洁净间中进行。

　　芯片测试：测试环节对洁净度的要求也较高，通常需要在iso 5(class 100)级或更高级别的洁净间中进行，以确保测试结果的准确性和可靠性。

　　三、洁净度控制措施

　　为了确保芯片净化车间的洁净度达到要求，需要采取一系列控制措施，包括：

　　高效的空气过滤系统：如hepa过滤器和ulpa过滤器等，可以过滤掉空气中的微粒和细菌。

　　正压控制：通过保持车间内部的正压，防止外部污染物进入。

　　温湿度精密调控：确保车间内的温度和湿度处于稳定状态，以避免对芯片制造过程产生不良影响。

　　表面清洁系统：包括干燥气体清洗、离子束清洗和化学清洗等，用于去除表面的微粒、细菌和化学物质。

　　人员洁净系统：要求人员穿着洁净服、洁净鞋和洁净帽等，以防止人员身上的微粒、细菌和化学物质进入车间。

　　综上所述，的等级划分标准是根据空气中允许的颗粒物数量和大小来确定的，不同的工艺步骤和测试环节对洁净度的要求不同，因此需要采取相应的控制措施来确保洁净度达到要求。