半导体洁净车间噪音标准规范和注意事项 -凯发旗舰网站下载

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　　a、半导体洁净车间噪声频谱限值宜采用倍频带声级，各频带声压级不应超过1级。

　　b、和断面布置应考虑噪声控制要求，围护结构应具有良好的隔声性能，各断面隔声效果应不相近。

　　c、半导体洁净车间中的各类设备应采用低噪音产品。对于辐射噪声超过洁净室允许值的设备，必须配备专用隔声设备(隔声室、隔声罩等)。

　　d、半导体洁净车间净化空调系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔音等控制措施。除了意外排气外，洁净室的排气系统也需要进行降噪设计。

　　综合考虑以上因素，半导体洁净车间应该遵循相关的噪音标准和规范，通过设备选择、工艺控制、隔音设计等措施，有效控制噪音水平，保障生产环境的安静和员工的健康。

标签：半导体洁净车间 , 洁净车间规划

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