电子洁净车间防火工作的具体要求 -凯发旗舰网站下载

　　2、当设置气体灭火系统时，不应采用卤代烷1211以及能导致人员窒息和对保护对象产生二次损害的灭火剂。

　　电子洁净车间内给水排水管道的敷设方式直接影响洁净车间的空气洁净度，因此在“规范”中首先要求管道尽量在洁净车间外敷设，减少洁净车间内的管道。目前，洁净车间的管道布置形式有：各种干管布置在技术夹层、技术夹道、技术竖井内。对具有上下夹层的洁净车间，给水排水干管大都设在下夹层内;暗装立管可布置在墙板、异型砖、管槽或技术夹道内;支管由干管或立管引入洁净室，从上、下夹层引入20——30cm后再与设备二次配管相连;安装在技术夹道内的管道及阀件，可明装也可暗装。

　　均为恒温恒湿房间，而生产工艺需要的各类管道又有不同的水温要求，管内外的温差可能使管外壁结露，影响室内温湿度。因此，对于有可能结露的管道应采取防结露措施。

　　防结露层外表面可以采用镀锌铁皮或铝皮作外壳，便于清洗并不产生灰尘。

　　电子洁净车间内的生产工艺一般为超精细加工或要求无菌无尘，对给水系统要求较为严格，如大规模集成电路的超纯水、医药工业的注射用水等。而且有的水系统的造价高、管理要求严格，因此应该根据不同的要求设置系统(如纯水的不同水质要求，冷却水的不同水温、水质要求等)。

　　以便重点保证要求严格的系统，也利于管理和节省运转费用。目前设在洁净车间中的生产工艺大都为技术发展迅速的高科技产业，如大规模集成电路、半导体等。这些生产部门产品升级换代快，生产工艺变化多。因此，在管道设计中应留有充分的余量。