晶圆洁净厂房中的空调系统分类 -凯发旗舰网站下载

　　2、半集中式空调系统

　　这种系统的特点是除了设有集中的空调机房外，还设有分散在各个房间的二次处理设备(又称为末端装置)来承担一部分冷热负荷。

　　在半集中式系统中，空气处理所需的冷、热源也是由集中设置的冷冻站、交换站供给。因此，集中式和半集中式空调系统又统称为中央空调系统。

　　优点：占建筑空间小，各空调房间可根据需要独立调节室温，房间无人时，可单独关闭室内机组的风机，节省运行费用。

　　缺点：布置分散，系统复杂，维护管理不方便。

　　3、分散式空调系统

　　又称为局部空调系统。它是把空气处理所需的冷热源、空气处理和输送设备、控制设备等集中设置在一个箱体内，组成一个紧凑的空调机组。可按照需要，灵活、方便地设置在需要空调的地方。全分散空调系统不需要集中的空气处理机房。

　　常用的有单元式空调器系统，窗式空调器系统和分体式空调器系统。

　　4、精密空调系统

　　精密空调系统是一种专门用于洁净厂房的空调系统，具备高精度的温湿度控制能力。它通常采用多个空调单元组成，每个单元负责一个小范围的温湿度控制，以确保晶圆制造过程中的精确要求。

　　5、风淋室空调系统

　　风淋室是中的特殊区域，用于对进入洁净区域的人员和物品进行除尘处理。风淋室空调系统通过高速气流从顶部吹向底部，将空气中的颗粒物带走。该系统通常采用高效过滤器和风机组成。

　　这些空调系统根据晶圆洁净厂房的需求和规模的不同，可以选择适合的空调系统进行安装和使用。重要的是确保空调系统能够提供稳定的温湿度控制，并符合洁净度等级的要求。