粒子浓度：单位体积空气中粒子的个数。
空气质量监测：需要进行空气质量监测，以确保洁净度等级的要求得到满足。监测通常包括颗粒物浓度、温湿度、静电等参数的测量。
静电控制：静电控制是指在洁净厂房中采取措施来控制静电的产生和影响。静电可能对电子产品产生干扰或损害，因此需要使用抗静电材料、静电消除设备等来控制静电。
温湿度控制：洁净厂房中的温度和湿度需要进行精确控制，以满足工艺要求。温湿度控制系统通常包括空调系统、加湿器、除湿器等设备。
占用状态：洁净室或洁净区的洁净度等级，应按一种或几种占用状态确定，即空态、静态和动态。(空态检测适用于新建成或新改造的洁净室或洁净区。完成了空态检测后，应进行静态或者动态的达标检测。)
空态：指的是设施已建成并运行，但没有生产设备、材料和人员的状态。
静态：指的是设施已建成，生产设备已安装好并按需方与供方协议的条件运行，但没有人员的状态。
动态：指的是设施按规定方式运行，其内规定数量的人员按议定方式工作的状态。
这些术语涵盖了电子洁净厂房中的一些重要概念和设施。了解这些术语可以帮助您更好地理解和沟通有关洁净厂房的要求和规范。
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