第二、回风系统要安装，回风口，过滤初效器，中效回风箱。
第三、进入芯片洁净车间之前先进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜，空气清新机。
第四、人和货物进入芯片洁净车间须经过，风淋室，货淋室，传递窗主要传递小物品。
第五、在芯片洁净车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台，层流罩(ffu)，洁净棚(可移式净化工作棚)，自净器。测洁净室洁净度用，激光尘埃粒子计数器等。
结尾：芯片洁净车间的设备种类繁多，上述只是其中的几种常见设备。为了确保车间的洁净度和产品的质量，企业在选择设备时应根据自身的生产需求和标准来进行选择。只有配置合适的设备，才能够满足无尘洁净车间的要求，提高生产效率和产品质量。
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