半导体洁净车间建设方案示例 -凯发旗舰网站下载

      我们讲一下环境控制，首先是洁净度。下面这张图是整个洁净度控制的概念图，首先是新风部分，一般配置是初效、中效和高效。洁净室的等级通常决定高校过滤器的覆盖率，一级洁净室要求高效100%%覆盖率，换气次数400次。100级是25%%覆盖率，换气次数100，1000级是12.5%%覆盖率、换气次数在50次。

      半导体制造一些工艺生产过程的洁净等级要求，要求一般的是光照制造，还有微环境，其他的一些大的区域，包括薄膜等在百级。洁净度的要求是不是越高越好，这个主要还是决定我们的设计，或者对生产的要求，洁净度越高意味着ffu覆盖率会成倍的增加。目前对一些洁净室的设计还是大环境，不需要很高的洁净度。还有湿度控制，湿度控制主要通过循环通气冷却系统，去除洁净室循环空气的显热，最终控制洁净室温度。湿度控制主要通过新风控制箱进行控制，温度的控制目的有两个，首先是人员的舒适性，温度在21-23度都没有问题，作为制程来说我们关注的是波动性。控制洁净房的湿度主要目的是湿度过低将容易产生静电、湿度过高，对产品的影响。第二点是正压，通过洁净室内的压力传感器控制mau风机的频率改变送风量保持洁净室的设定正压，静压层保持微正压。

      半导体厂对静电消除主要是通过两种模式一个是被动式的静电消除，这个设备解题，包括墙板、高架地板、办公设备等。另外一个洁净室的阶梯网，主动式的静电消除就是用静电消除器，针对不同的洁净等级对静电消除器有很多形式。第一张图是百级洁净室图片的样子，旁边是千级洁净室内的图片。下面还有辐射式的基本也是属于主动式消除的一种。

      新风系统我们单独做一部分讲解，主要是对于半导体来讲对环境是最重要的一部分，也是最容易产生问题的部分。新风系统有三大作用，保证洁净室内一定是正压。第二是控制洁净室的湿度。第三个是净化室外空气、保证供气品质。新风系统特点第一能耗比较高，每个范围都会有一个大的制冷扇，还有大风量，再一个结构复杂。新风系统在设计上有一些要求，主要是节能方面，整个空调系统占半导体厂能耗的30%%-45%%，其中近70%%被新风系统消耗掉。所以下面有一些节能的措施，包括设置上可以采用热回收的设计，由于时间的关系这里不再详细介绍。